2015-2-6

以HPS-50B型FESEM对一些半导体试样的观测为例说明FESEM在半导体中的若干应用

以HPS-50B型FESEM对一些半导体试样的观测为例说明FESEM在半导体中的若干应用 1.研究半导体硅和砷化镓材料的晶体缺陷。 我们用SEM的二次电子象(SE)研究了化学腐蚀显示的半导体表面的晶体缺陷形貌。用这种方法可研究半导体材料中晶体缺陷应变场的形状和尺寸、缺陷的走向、表面层内的密度、单个缺陷的显微形态、缺陷间的相对取向以及相互作用的迹象等等。FESEM可给出半导体表面晶体缺陷的高

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扫描电镜在锂电池粉末方面的应用

扫描电镜在锂电池粉末方面的应用样品：1放大倍数：5,000 × 放大倍数：10,000 ×放大倍数：20,000 × 放大倍数：50,000 ×样品：2放大倍数：5,000 ×

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扫描电镜在微电子技术中的应用

扫描电镜在微电子技术中的应用 扫描电镜与一般光学显微镜相比，具有以下特点： 焦深大， 视场调节范围宽、图象立体感强，分辨率高以及通过收集电子束与样品作用而得到样品材料结构和物理特性的信息。这些特点对于分析微电子材料和器件来说具有更为突出的效用，因而它在微电子材料和器件分析中的应用越来越广泛。本文主要介绍扫描电镜在微电子技术中应用。 SEM的工作原理和操作模式 SEM的原理结构如图1所示。阴极发射的