
解决方案
The solution
2015-2-6
以HPS-50B型FESEM对一些半导体试样的观测为例说明FESEM在半导体中的若干应用
以HPS-50B型FESEM对一些半导体试样的观测为例说明FESEM在半导体中的若干应用 1.研究半导体硅和砷化镓材料的晶体缺陷。 我们用SEM的二次电子象(SE)研究了化学腐蚀显示的半导体表面的晶体缺陷形貌。用这种方法可研究半导体材料中晶体缺陷应变场的形状和尺寸、缺陷的走向、表面层内的密度、单个缺陷的显微形态、缺陷间的相对取向以及相互作用的迹象等等。FESEM可给出半导体表面晶体缺陷的高